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真空镀膜加工磁控溅射技术有很多种。每个都有不同的工作原理和应用对象。但有一个共同点:磁场和电子之间的相互作用使电子在靠近目标表面的掩埋螺旋中运行,从而增加电子撞击产生离子的概率。产生的离子在电场的作用下与靶表面发生碰撞,并从靶表面飞溅出去。

在近几十年的发展中,永磁体逐渐被使用,而线圈磁体很少被使用。

目标源可分为平衡源和非平衡源。平衡靶源的涂层均匀,且非平衡靶源的涂层与基材的附着力强。平衡靶源主要用于半导体光学薄膜,非平衡靶源主要用于装饰膜的佩戴。





真空镀膜加工中频磁控溅射

无论平衡还是不平衡,如果磁铁是静止的,其磁性决定了现有材料的利用率通常小于3。为了提高靶材的利用率,可以采用旋转磁场。然而,旋转磁场需要一个旋转机构,并且应降低等待速率。

用磁控靶源溅射金属和合金容易,点火和溅射方便。这是因为目标、等离子体和飞溅零件的真空腔可以形成一个电路。但是,如果溅镀陶瓷等绝缘体,电路就会断开。



真空镀膜加工的科学蒸镀

真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室,底盘上有真空测-的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的,它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上


真空镀膜加工能被誉为具发展前途的主要技能之一,并已在高技能产业化的发展中展现出-的市场前景。这种新式的真空镀膜加工技能已在-各个范畴得到使用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、、等范畴。真空镀膜加工:采用在真空条件下,通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜。

挂镀适用于一般尺寸的制品,如汽车的保险杠,自行车的车把等。滚镀适用于小件,紧固件、垫圈、销子等。连续镀适用于成批生产的线材和带材。



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