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粗抽泵:从-压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。

  (4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。

只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(qcm)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层。






膜层结合力强,在真空电镀加工过程中,有部分电子撞击到基材表面,表面原子,并且产生清洁的作用,而镀材通过溅射所获得的能量比蒸发所获得的能量高出1到2个数量级,带有如此高能量的镀材原子撞击到基材表面时,有更多的能量可以传递到基材上,产生更多的热能,使被电子的原子加速运动,与部分镀材原子更早互相溶合到一起,其他镀材原子紧随着陆续沉积成膜,加强了膜层与基材的结合力。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成-的污染。




parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度,同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。parylene如此高的介电强度主要归功于parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。运用气相沉积的处理技术,可以于物体表面均匀coating形成膜层,薄膜的厚度可在1微米至50微米的范围内任意调整。parylene具有优异的尺寸稳定性和低温性能,在几乎不改变器件尺寸的情况下提供1.5kv,2.0kv 甚至更高的耐电压击穿性能。因此,parylene可用作微机电,微马达的表面处理和绝缘体。使用高纯度的parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护。





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